在西安高新區(qū)，一座現(xiàn)代化的潔凈車間內(nèi)，身著白色防護(hù)服的技術(shù)人員正專注地操作著精密設(shè)備。這里，陜西電子芯業(yè)時(shí)代科技有限公司的8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線已正式投入運(yùn)行，標(biāo)志著陜西在高端芯片制造領(lǐng)域邁出了關(guān)鍵一步，為我國(guó)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控發(fā)展注入了新動(dòng)力。

“光刻工藝是整個(gè)生產(chǎn)線的核心環(huán)節(jié)，堪稱半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的‘明珠’。”該公司光刻部工程師吳一蔚介紹道。他的團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)將掩膜版上的精密圖形精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移到硅片表面的光刻膠上，為后續(xù)刻蝕出微觀芯片結(jié)構(gòu)奠定基礎(chǔ)。這條生產(chǎn)線總投資45億元，其中一期投資32億元，于2024年5月啟動(dòng)建設(shè)，9月成功試產(chǎn)，主要聚焦新能源汽車、綠色家電、風(fēng)光儲(chǔ)能等領(lǐng)域的工業(yè)級(jí)與車規(guī)級(jí)功率芯片，精準(zhǔn)對(duì)接產(chǎn)業(yè)升級(jí)需求。

從建設(shè)之初，該生產(chǎn)線就堅(jiān)持“自主化”原則，主工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率超過60%，輔機(jī)輔件國(guó)產(chǎn)化率達(dá)90%以上，超過80%的設(shè)備兼容第三代半導(dǎo)體研發(fā)。這一舉措為我國(guó)突破關(guān)鍵裝備依賴、筑牢產(chǎn)業(yè)安全屏障提供了有力支撐。目前，項(xiàng)目一期月產(chǎn)能2萬(wàn)片的生產(chǎn)線已全面建成，150余臺(tái)主工藝設(shè)備和400余臺(tái)輔助設(shè)備全部到位，并與8家上市公司或行業(yè)頭部企業(yè)達(dá)成合作。

“更令人振奮的是市場(chǎng)反饋。”公司總經(jīng)理張國(guó)偉表示。這條生產(chǎn)線的通線投產(chǎn)不僅填補(bǔ)了陜西集成電路制造的短板，還展現(xiàn)出顯著的產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)效應(yīng)。截至目前，項(xiàng)目已為陜西引入上下游關(guān)聯(lián)投資超過10億元，與8家企業(yè)建立實(shí)質(zhì)性合作。在產(chǎn)業(yè)鏈上游，與西安交通大學(xué)、西安電子科技大學(xué)等高校緊密銜接，協(xié)同開展前沿技術(shù)攻關(guān)；在產(chǎn)業(yè)鏈下游，為省內(nèi)200余家半導(dǎo)體企業(yè)完善了制造環(huán)節(jié)，促進(jìn)形成“設(shè)計(jì)—制造—封測(cè)—應(yīng)用”的完整生態(tài)，使陜西集成電路產(chǎn)業(yè)的“骨骼”更加強(qiáng)健，“血脈”更加暢通。

作為項(xiàng)目承載地，西安高新區(qū)同步打造了集成電路創(chuàng)新中心，構(gòu)建起“四鏈融合”的高能級(jí)生態(tài)平臺(tái)。這里不僅提供空間載體，還依托西安高新金控集團(tuán)的金融服務(wù)與硬科技集團(tuán)的產(chǎn)業(yè)投資優(yōu)勢(shì)，著力打通“科技研發(fā)—成果轉(zhuǎn)化—企業(yè)培育—產(chǎn)業(yè)壯大”的全鏈條。目前，除陜西電子芯業(yè)時(shí)代科技有限公司外，西安高新區(qū)已聚集西北工業(yè)大學(xué)未來(lái)產(chǎn)業(yè)科技園、普源精電、華騰微波等一批龍頭企業(yè)，并圍繞集成電路、人工智能等產(chǎn)業(yè)構(gòu)建起“眾創(chuàng)空間—孵化器—加速器—產(chǎn)業(yè)基地”的完整孵化體系，為企業(yè)協(xié)同創(chuàng)新、共生共長(zhǎng)提供持續(xù)動(dòng)力。

隨著這條生產(chǎn)線的正式投產(chǎn)，一顆顆“西安芯”正從這里走向市場(chǎng)，為綠色經(jīng)濟(jì)發(fā)展和千行百業(yè)賦能。陜西電子芯業(yè)時(shí)代科技有限公司計(jì)劃未來(lái)將月產(chǎn)能提升至5萬(wàn)片，并持續(xù)深耕特色工藝，有效緩解高端芯片進(jìn)口依賴問題，助推陜西集成電路產(chǎn)業(yè)加快做強(qiáng)做優(yōu)做大。